各类真空泵的基本原理课件.ppt

真 空 泵 1 目录 一、概述 1 、真空泵的分类 2 、各类真空泵工作压力范围 3 、真空泵的规格及型号表示法 二、常用真空泵技术 1 、蒸汽喷射泵 2 、湿式泵 3 、干式泵 三、总结 2 一、概 述 真空泵是用各种方法在某一封闭空 间中产生、改善和维持真空的装置。真 空泵可以定义为：利用机械、物理、化 学或物理化学的方法对被抽容器进行抽 气而获得真空的器件或设备。随着真空 应用的开展，真空泵的种类已开展了很 多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几 十万、数百万升。极限压力 ( 极限真空 ) -12 从粗真空到 10 Pa 以上的极高真空范围。 3 真空区域的划分 ? 粗真空 10 5 ～ 10 3 Pa ? 低真空 10 3 ～ 10 -1 Pa ? 高真空 10 -1 ～ 10 -6 Pa ? 超高真空 10 -6 ～ 10 -10 Pa ? 极高真空 10 -10 Pa 4 1 、真空泵的分类 ? 按真空泵的工作原理，真空泵根本上可以分为 两种类型，即 变容真空泵 和 动量传输泵 。 ? 变容真空泵 是利用泵腔容积的周期变化来完成 吸气和排气以到达抽气目的的真空泵。气体在 排出泵腔前被压缩。 ? 动量传输泵 〔分子真空泵〕 依靠高速旋转的叶 片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子， 使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。 5 变容真空泵 ? 往复式 ? 旋转式〔旋片式、滑阀式、液环式、罗茨 式、螺旋式、爪形转子式〕 ? 其它型式 6 2 、各类真空泵工作压力范围 真空泵种类 往复式真空泵 旋片式真空泵 液环式真空泵 罗茨式真空泵 水蒸气喷射泵 油扩散泵 钛升华泵 工作压强范围〔 Pa 〕 1 × 10 5 ～ × 10 2 1 × 10 5 ～ × 10 -1 1 × 10 5 ～ × 10 3 × 10 3 ～ 1.3 1 × 10 5 ～ × 10 -1 × 10 -2 ～ × 10 -7 × 10 -2 ～ × 10 -9 7 3 、真空泵的规格及型号表示法 国产的各种机械真空泵的型号通常是用汉 语拼音字母来表示。汉语拼音字母表示泵的类 型；字母前的数字表示泵的级数，单级时“ 1 〞 省略；字母后边横线后的数字表示泵的抽速 (L/S) 。 8 国产真空泵型号对照表 型 号 名 称 型 号 名 称 W 往复式真空泵 WY 移动阀式往复泵 WL 立式往复泵 SZ 水环泵 SZB 悬臂式结构水环泵 SZZ 直联式水环泵 H YZ ZJ X F XZ 滑阀式真空泵 余摆线真空泵 罗茨真空泵 旋片式真空泵 分子真空泵 直联式旋片泵 9 二、常用真空泵技术 蒸汽喷射泵 湿 式 泵〔液环真空泵、旋转叶片泵〕 干式泵〔罗茨泵、螺杆泵、爪式泵〕 10 1 、蒸汽喷射泵 蒸汽喷射泵原理图 11 蒸汽喷射泵原理 ? 压力为 ρ0 ﹑速度为 ω0 的工作蒸汽流经拉 瓦尔喷嘴 ( 见拉瓦尔喷管 ) ﹐在喷嘴出口处射流 的速度上升到超音速 ω1 ﹐而压力下降为 ρ1 ﹐ 因而将被抽气体吸入﹐与高速蒸汽流碰撞﹑混 合和交换能量﹑并流向扩散器。在扩散器收缩 段蒸汽和被抽气体进一步混合﹐成为均匀混合 气体。在这一过程中混合气体的速度开始连续 下降﹐而压力连续上升﹐在扩散器喉段附近产 生正激波。混合气体速度由超音速急剧降为亚 音速﹐而压力那么随之急剧升高。在扩散器出口 处﹐压力上升到大气压力或后一级喷射器的进 口压力时﹐混合气体即排出。 12 蒸汽喷射泵 优点： ? 无机械运动部件 ? 可靠耐用 ? 快速的抽真空 ? 紧凑、占地面积小 ? 工作平安 ? 低的投资本钱 ? 适应性强