表面与薄膜物理教学大纲.pdfVIP

表面与薄膜物理 一、课程说明 课程编号： 140314Z10 课程名称（中 /英文）：表面与薄膜物理 /physics of thin films 课程类别：专业选修课 学时/学分： 40/2.5 先修课程：热力学与统计物理 ,固体物理 ,量子物理 ,原子物理 适用专业： 应用物理 教材、教学参考书： 徐亚伯， 《表面物理导轮》，浙江大学出版社（ 1992） 肖定全， 《薄膜物理与器件》，国防工业出版社 （2011） Luth H. Solid surfaces, interfaces and thin films. Springer-Verlag, Berlin (2001). 二、课程设置的目的意义 本课程为应用物理专业选修课程， 将大学物理、 热力学与统计物理、 固体物 理、原子物理、量子力学等课程的内容有机地融合在一起，用来探讨真空知识、 薄膜制备、薄膜和表面表征等新知识，初步探讨表面物理、纳米物理、薄膜物理 等领域常用的分析测试技术的原理和方法， 为以后工作和进一步学习其他测试分 析方法打下基础。 三、课程的基本要求 1．掌握超高真空的获得及检测 2 ．掌握 PVD ， CVD ，微机械剥离，离子溅射等镀膜方法；了解离子镀、 电化学镀、化学溶液等镀膜方法。 3．理解并掌握 UPS，AFM ，LEED ，了解XPS ，AES ，ARPES，XRD ，HREED ， EELS，TEM ，SEM，STM 等现代表面分析测试手段。 4 ．以小组的形式完成一次课堂报告。 四、教学内容、重点难点及教学设计 学时分 总 教学方案设计 配 章节 教学内容 学 讲 实 教学重点 教学难点 （含教学方法、 时 课 践 教学手段） 真空的获得与表征： 真空技术 讲解真空泵、真空仪 稀 薄 气 体 第 1 章 6 4 讲授与讨论 基础 2 表、真空配件、 真空检 性质 测等 真空蒸镀和离子溅 薄膜的物 射等镀膜方法： 固体材 各种方法的 第 2 章 理制备 6 6 料气化的方法及沉积 讲授与讨论 原理 方法 过程中的物理过程和 现象 第 1 页/ 共 3 页 学时分 总 教学方案设计 章节 教学内容 学 讲配 实 教学重点