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- 2022-02-08 发布于四川
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- | 2021-10-11 颁布
- | 2022-05-01 实施
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ICS71.100.20
CCSG86
中华人 民共和 国国家标准
/ —
GBT21287 2021
代替 / —
GBT21287 2007
电子特气 三氟化氮
—
Electronicsecialt as Nitroentrifluoride
p yg g
2021-10-11发布 2022-05-01实施
国家市场监督管理总局
发 布
国家标准化管理委员会
/ —
GBT21287 2021
前 言
/ — 《 : 》
本文件按照 标准化工作导则 第 部分 标准化文件的结构和起草规则 的规定
GBT1.1 2020 1
起草。
/ — 《 》, / — ,
本文件代替 电子工业用气体 三氟化氮 与 相比 除结
GBT21287 2007 GBT21287 2007
, :
构调整和编辑性改动外 主要技术变化如下
——— ( , );
更改了三氟化氮应符合的技术要求 见第 章 年版的第 章
4 2007 3
——— 、 ( , );
更改了抽样 判定和复验的要求 见 5.12007年版的4.1
——— ( , );
更改了采样的要求 见 5.22007年版的4.1.6
——— ( );
增加了尾气处理的要求 见 5.3
——— ( );
增加了试验方法的一般规定 见 6.1
——— ( , );
更改了纯度计算方法 见 6.22007年版的4.2
———
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