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- | 2021-08-20 颁布
- | 2022-03-01 实施
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ICS23.160
J78
中华人 民共和 国国家标准
/ — / :
GBT40344.1 2021ISO21360-12020
真空技术 真空泵性能测量标准方法
:
第 部分 总体要求
1
—
Vacuumtechnolo Standardmethodsformeasurin vacuum-um
gy g p p
— :
erformance Part1Generaldescrition
p p
( : , )
ISO21360-12020 IDT
2021-08-20发布 2022-03-01实施
国家市场监督管理总局
发 布
国家标准化管理委员会
/ — / :
GBT40344.1 2021ISO21360-12020
目 次
前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ
引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ
1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1
2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1
3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1
4 符号 ……………………………………………………………………………………………………… 3
5 测试方法 ………………………………………………………………………………………………… 4
( )………………………………………………………………………
5.1 流量法测量体积流率 抽速 4
5.1.1 概述 …………………………………………………………………………………………… 4
5.1.2 流量法的测试罩 ……………………………………………………………………………… 4
5.1.3 测试装置 ……………………………………………………………………………………… 5
5.1.4 体积流率的测定 ……………………………………………………………………………… 6
5.1.5 测量步骤 ……………………………………………………………………
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