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大影响激光干涉仪测量 精度的因素 文档编制序号：[KK8UY-LL9IO69-TTO6M3-MTOL89-FTT688] 6大激光干涉仪影响因素，提高数控机床检测准确度全靠它了！ 激光干涉仪是精度最高的线性位移测量仪器，其光波可以直接对米进行定 义，可溯源至国家标准，通过与不同的光学组件结合，可以实现对各类机床的 线性、角度、平面度、直线度（平行度）、垂直度、回转轴等参数的精密测 量，并能对设备进行速度、加速度、频率-振幅、时间-位移等动态性能分析， 在相关软件的配合下，可自动生成误差补偿方案，为设备误差修正提供依据。 但是我们在使用中往往会出现检测偏离值，偏离我们的预估，以至于在高 精度检测时，对设备产生怀疑。今天我们来扒一扒引起激光干涉仪测量误差的 部分原因。 1、 阿贝误差 因测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差 称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差，因此光学 镜组与运动轴偏置距离越远，引起的阿贝误差越大。 角度、偏置距离引起的误差表（单位：um） 角度 5 10 （） 125102060 0.0240.0480.1200.2400.4801.450 0.0480.0970.2400.4800.9702.900 上表可得：角度 1″在500mm偏置距离下引起的误差大约是2.40um。 来个实际案例：以检测机床时不同安装高度为具体说明。 线性镜组安装距工作台 10cm： 线性镜组安装距工作台 30cm 线性镜组安装距工作台 50cm 实验结果：按 GB/T17421.2 《机床检验通则 2000 版分析标准得出结果， 镜组安装高度偏离设备运动轴线越远，检测结果中重复精度以及定位精度就越 差。 双向重复精 双向定位精 偏置距离 反向差值 度 度 10cm 1.30um 5.36 um 11.82 um 30cm 1.38 um 16.50 um 28.99 um 50cm 1.26 um 27.99 um 49.07 um 正确方式：设备校准时线性镜组的安装高度应该尽量靠近被测轴，使激光 光束与运动轴重合（或尽量靠近），减小阿贝误差。 扩展：SJ6000 激光干涉仪用户在进行两台同类设备定位精度的对比时，应 该进行同轴比对，即共用线性镜组，这样才具有可比性。 2、 环境因素 环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息，基于 Edlen 公 式计算空气折射率，以此对激光波长进行补偿。 1000mm示值因环境温度、压力、空气湿度各自变化引起的示值变化量（单 位：um） 环境温度 示值变化 气压 示值变化 空 气 湿 度 示值变化 (℃) 量 （kPa） 量 (%RH) 量 0.20 0.191 0.200 0.537 5.0 0.042 0.40 0.382 0.400 1.073 10.0 0.085 0.60 0.573 0.600 1.610 15.0 0.127 0.80 0.763 0.800 2.146 20.