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效率99.95% - 99.9995% @ 0.3μm;Cleanroom Products 洁净室产品
效率99.99% - 99.999995% @ MPPS;Cleanroom Products 洁净室产品
Ceiling System 吊顶系统;ASTROFAN FFU 风机过滤器机组;;Cold DOP - Heterogeneous polydispered aerosol having broad
Particle size distribution :
3.0 micron 99+%
0.7 micron 50+%
0.4 micron 10+%
Mean particle size about 0.72 micron
Hot DOP - Thermally generated monodispered aerosol of 0.3um particles 加热产生的单分0.3微米的颗粒
PSL - Polystyrene latex spheres
Monodispered Particles 单分颗粒
Uniform size 尺寸一致
Available in many size 多种尺寸供选择
DEHS - Di-2-ethylhexylsebacate - Liquid aerosol 液态气溶胶;Traditional DOP Test is not suitable for filter testing
传统的DOP测试已经不适合过滤器测试
DOP has finite vapor pressure. Out-gassing of DOP vapor from the filter caused organic contamination in the CR
DOP挥发气可造成洁净室的有机污染
DOP is a suspect carcinogen DOP怀疑可致癌
In recent years PSL aerosols are becoming increasingly accepted as the preferred aerosol material PSL近年来被广泛使用:
- PSL is inert PSL不挥发
- Uniform size of the PSL spheres 颗粒尺寸一致.;Filter Testing 过滤器检测;Auto Scan Machine
自动扫描仪
Diluter 稀释剂
Laser Particle Counters
激光粒子计数器
Automated Filter Leak Test Software
过滤器泄漏自动监测软件
Inclined Manometers
压力表;Filter Testing 过滤器检测;A rectangular probe is held 1” from the filter face, sweeping across the filter face in overlapping motion to locate leaks due to media breaks, pin-hole leaks, damage from manufacturing process or handling, integrity of bond between filter media and cellsides.
在过滤器表面1“处采用方形采样口,扫描过滤器,确定由于滤料破裂或小孔造成的泄漏,以及生产,搬运途中造成的滤料与框架之间的泄漏
Sampling rate 采样流量 - 1 cfm
Traverse rate 扫描速度 - 10ft/min ( 3 min/min)
Average air velocity - 90+ 10ft/min (0.45+ 0.05m/s)
平均面风速(laminar flow condition)
Sequential counting system 连续计数系统;Standard
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