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生产部电池线： 题 库 1、清洗机盖板不能正常开、关 答：a、气缸被堵，需清理气缸； ? ? b、气动阀损坏，需修理； c、丝杆接触金属块断，需更换； ? ? d、感应器未得到感应，清理感应器或更换； e、盖板变形卡死； f、压缩空气压力不足； g、电气原因，检查开关盖信号是否传到PLC。 2、清洗机下料台发生压篮情况 答、a、花篮放偏，感应器感应不到，因对机械重新定位； b、感应器不工作，清理感应器表面或更换； c、人为不小心触动清洗机下料位行程开关，导致机械误动作。 3、花篮翻篮? ? 答：a、机械手定位偏移，重新对机械手定位； ? ? b、软件程序混乱出错，对程序复位； c、定位开关失灵； d、盖板不能及时打开； e、机械手脱钩。 4、机械手撞车 答：a、软件程序混乱出错，需复位程序； ? ? b、设计机械频率太高，超过PLC频率范围，降低机械手频率； 5、 PECVD抽不上真空 答：a、石英管破裂，需更换； b、密封圈破损或者有异物，用异丙醇清洗或者更换； c、锁紧头松动，更换； d、反应腔盖螺丝松动，需锁紧； e、真空泵故障。 6、等离子刻蚀辉光颜色呈红色 答：a、密封性差，检查密封圈等； b、反射功率偏高，调节反射功率； c、管道漏气；检查管道。 7、等离子刻蚀反射功率低，预热灯不亮 答：a、线路接触不良，检修； ? ? b、保险丝烧断，需更换。 8、pecvd位置感应器显示有框状态，腔门打不开或关不上 答：碎片或沉积物挡住了感应器，传给系统一个假信号，需清理感应器。 9、微波反射功率太高 答：a、石英管的铜波与铜天线接触不好，重新安装； ? ? b、微波头上的一个旋纽松动，需调节。 10、网眼对不上 答：a、丝网网眼被堵； ? ? b、网板不合格，网眼位置不对； ? ? c、网眼感应校正器被堵； 11、金字塔绒面的好处？ 答：当光入射到一定角度的斜面，会反射到另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收率。 12、在生产过程中清洗槽1、2、3、4槽内有片子，突然停电怎么办 答：将1、2、3、4槽全部加冷水，让它溢流，后再排液，边排边往内加冷水。 13、PECVD镀膜后有一排颜色色差很明显 答：说明反应腔气孔上掉片子，或者气孔被堵住。 14、扩散不能正常进退舟 答：a、检查“急停”按钮是否被按下； ? ? b、检查限位开关； ? ? c、检查限位开关处传输带是否有松落的现象； 15、如何区分扩散面与非扩散面 答：a、扩散面颜色较非扩散面深； b、通过四探针检测，将暗室的灯打开测试，数字显示较不稳定的为扩散面，反之则为非扩散面； c、用冷热探针测试硅片表面，电压为负的为扩散面，电压为正的为非扩散面。 16、四探针测试仪修正因子4532显示异常 答：电压不稳定，因是功率放大器件使用时间较长也会损坏，需换HA17741芯片。 17、烧结过后的片子较翘曲 答：a、调节烧结炉5、6区温度； ? ? b、调节第二台背电场加浆的用量，调整刮刀的压力，调整丝网与工作台的距离，减低铝浆厚度； 18、第三台正电极错加银铝浆 答：电池片的开压为3mv左右，电流为0.4A左右,填空因子比较低,串联电阻为负值。 19、换石英管注意事项 答：a、对卡口锁、铝帽、密封圈、铜波导进行清洁； ? ? b、对工艺腔进入2次充气抽气； ? ? c、对气孔进行检查是否有堵塞； ? ? d、对定位探测器清洁； ? ? e、石英管密封圈、铝帽、铜导波安装不允许有脱落； 20、从仓库领过来的新石英舟怎样做 答：第一步，必须用HF、HCL混合液清洗，再用纯水清洗；第二步，必须每一个石英舟都做饱和。 21、浆料搅拌时间 答：银浆、银铝浆至少2.5个小时,铝浆至少2个小时。 22、碎片产生的原因 a、机械造成的碎片； b、人为原因造成的碎片； c、工艺原因造成的碎片； d、吸笔的真空度过大造成的碎片； e、操作手法不当造成的碎片。 23、二次清洗HF酸浓度太高或时间设定太长会有什么影响 答：HF酸和硅有缓慢反应，也会对硅片有腐蚀，扩散后如浓度太高或时间过长，硅片表面也会腐蚀掉一些，会导致方块电阻偏大。 24、每天要定时检查花篮是否有破损，如有破损立即更换，否则会有金属离子玷污。 25、装网板时注意丝网电极横向放置且固定框缺口与之平行的原则。 26、装括条注意事项 答：安装好刮条后，将刮刀垂直置于印刷机旋转台面上，刮条平直且与台面接触部分无空隙。 27、为什么038浆料和102浆料混用。 答：铝浆038印刷的片子容易翘曲，102浆料印刷的片子比较滑，所以将其按1：1的比例混合用。 28、怎样检测去除磷硅玻璃是否彻底。 答：从二次清洗一槽里将硅片慢慢取出，看硅片表面是否沾水，如没有沾水表示已去除干净，反之则否。 29．对扩散杂质源有什么要求？ 答：要制备良好的