固态电子学课件SEM (2).ppt

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2022-03-12 发布于上海
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;;;;;;;;电子束与样品作用产生的物质;二次电子;背散射电子和透射电子;俄歇电子;特征X光和阴极荧光;不同的物理信号要用不同类型的检测系统。它大致可分为三大类，即电子检测器、阴极荧光检测器和X射线检测器。;电子检测器电子检测器主要由闪烁体，光导管和光电倍增器所组成。次级电子由探测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。;X射线检测器;功能;电子背散射系统：;X射???显微分析系统：;应用;材料的组织形貌分析观察;阴极荧光附件---只检测光信号强度，无法区分不能元素;纳米尺寸的金属颗粒;应用;应用;