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《微纳米加工及应用》化学气相沉积(CVD)技术.pptx

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化学气相沉积(CVD)技术 及其在纳米材料制备中的应用;2;3;4;;化学气相沉积技术分类;;负压CVD装置示意图;9;;;12;13;14;15;16;17;18;;20;21;22;PECVD技术机理;PECVD装置;等离子气体产生过程;等离子体化学反应过程;PECVD适用材料;28;29;30;31;化学气相沉积技术在纳米材料制备中的 应用之一 碳纳米管的规模化生产;;;连续制备碳纳米管的CVD方法;;;;碳纳米管的规模化生产实例;化学气相沉积技术在纳米材料制备中的 应用之二;;;;InSb/InAs纳米线异质结阵列的制备;InSb/InAs纳米线异质结阵列的制备;;;化学气相沉积技术在纳米材料制备中的 应用之三;;GaAs半导体纳米线的形貌与实验条件关系;51;52

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