电子束曝光技术课程1基本理论.pptx

下载文档 降价啦

83
0
约小于1千字
约 53页
2022-03-18 发布于浙江
举报
版权申诉
保障服务

电子束曝光技术课程1基本理论.pptx

1、本文档共53页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

Electron Beam Lithography 电子束光刻 ——基本理论;? 传统光学曝光技术 ? 电子束曝光技术 ? 离子束曝光技术 ? X射线曝光技术 ? 极紫外曝光技术 ? 纳米压印术;Conclusion on Lithography techniques;? 利用某些高分子聚合物对电子束敏感形成曝光图形;;1. 电子束曝光机;电子束曝光系统分类;电子束曝光系统的重要指标;;;;MEBES4700S;;;;;2. 电子束抗蚀剂;;;负抗蚀剂：入射粒子将聚合物链接起来;;;;抗蚀剂的重要参数;;高对比度;抗蚀剂的分辨率;抗蚀剂的厚度;;;;;多层抗蚀剂工艺;3. 电子束曝光方式;2. 矢量扫描光???扫描;3. 高斯圆电子束Vs.成形电子束;工作方式1 －高斯束、矢量扫描、固定工作台;工作方式2 －高斯束、光栅扫描、移动工作台;工作方式3 －成形束、矢量扫描;4. 电子散射与邻近效应;电子散射能量沉积分布;;;;;;电子散射引起的邻近效应;;怎样对抗邻近效应;;;;6. 电子束曝光技术的应用