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基于扫描电镜的电子束曝光系统.pptx

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;主要内容;主要内容;XL 30 S FEG 简介;;;;;;;;;如何生成二次电子像;主要内容;Raith电子束曝光系统;;;;;;曝光图形的制作;;;;;;;;;;曝光图形设计注意事项;;;;对准调节;两套坐标的刻度校准;标准样品;;;;;;;;曝光参数设置-扫描电镜;曝光参数设置-Elphy plus;;;;;;主要内容;纳米器件的主要制作步骤;基片准备和样品分散;定位和曝光图形设计;镀膜和剥离;主要内容;;;;;;;;Specifications;;;Piezo Leveling;;Extensive Automation;Repeatable Performance (I);Repeatable Performance (II);Fastest Operation;主要内容;电子束曝光的技术细节;器件结构;光刻胶的选择;;;Dose Test;定期修正曝光条件;

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