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6.718所派瑞科技-电子特气在半导体中的应用及国产化现状.pdfVIP

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演 讲 :李 坤 1 01. 电子特气概述。 目 02. 市场竞争格局。 03. 国产化进程。 录 04. 前景分析。 2 01. 电子特气概述。 01. 电子特气概述 3 电子特种气体:广泛应用于半导体 及相关电子产品的研发生产过程中, 同时集成电路 ,LCD,LED以及光伏太 阳能电池等领域也会大量使用。 属性及特点:  种类繁多  新品研发门槛高  分析检测要求严苛  极高的纯度标准要求  存储和运输的特殊性  包装物投入比较大 01. 电子特气概述 4 电子气按其本身化学成分可分为: 按在集成电路中不同应用途径可分为: 外延 01. 电子特气概述 5 IC 硅 C 溅 刻 离 测 片 氧 V 光 子 试 设 制 化 D 射 刻 蚀 注 封 计 造 入 装 IC 制

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