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演 讲 :李 坤
1
01. 电子特气概述。
目
02. 市场竞争格局。
03. 国产化进程。
录
04. 前景分析。
2
01. 电子特气概述。
01. 电子特气概述 3
电子特种气体:广泛应用于半导体
及相关电子产品的研发生产过程中,
同时集成电路 ,LCD,LED以及光伏太
阳能电池等领域也会大量使用。
属性及特点:
种类繁多
新品研发门槛高
分析检测要求严苛
极高的纯度标准要求
存储和运输的特殊性
包装物投入比较大
01. 电子特气概述 4
电子气按其本身化学成分可分为: 按在集成电路中不同应用途径可分为:
外延
01. 电子特气概述 5
IC 硅 C 溅 刻 离 测
片 氧 V 光 子 试
设 制 化 D 射 刻 蚀 注 封
计 造 入
装
IC 制
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