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博康集团 江苏汉拓
半导体光刻胶国产化的新发展阶段
江苏汉拓光学材料有限公司
孙友松
1
目录 Content
中美高科技竞赛:话语权的争夺
光刻胶在先进光刻工艺上面对的困难
国内集成电路制造替代进口光刻胶的局面
国产光刻胶须全产业链基础的支撑
汉拓光刻胶产品和发展
合作创新攻克光刻胶制高点
2
中美高科技竞赛:话语权的争夺
中美关系已进入整体战略竞争时代。美国将中国视为最首要、最长远
的战略竞争对手。中国也将美国看作是实现发展复兴目标的最大外部
挑战。
从两国贸易战,扩展到中美科技、军事、外交舆论等各领域的博弈。
对立的根本动力基于利益冲突。美方的目标是打压中国的发展,防范
中国的崛起,而中国对美博弈的主要目标是赢得自身发展空间,真正
实现“强起来”。
两国的博弈是长期的 ,可能长达数十年,持续到一方认定另一方失去
了竞争能力或不再构成威胁为止。
芯片作为现代工业的粮食,科技竞争中首先受到打压和限制。体现在限
制提供和使用设计软件、设备仪器、材料和零部件,卡住中国发展先进
技术的速度(如5G/6G通讯、云计算、智能制造、万物互联,航空航天,
军事等等)。
3
芯片技术向更精细、更密集、更精准发展
集成电路遵循摩尔定律
设备、专利、软件、
材料、供应链,面
临卡脖子问题
集成电路是将半导体晶体管和各类
电子原件集成到很小面积的单晶硅材料
上,成为集成度非常高的芯片,执行各
种信号转换和计算的功能。
目录 Content
中美高科技竞赛:话语权的争夺
光刻胶在先进光刻工艺上面对的困难
国内集成电路制造替代进口光刻胶的局面
国产光刻胶须全产业链基础的支撑
汉拓光刻胶产品和发展
合作创新攻克光刻胶制高点
5
芯片制造是各学科结合的工艺工程集成
封
装
制
造
芯
片 每层线路的图形布局都要经过光刻工艺实现。光刻工艺需要匀胶、烘
制 烤、曝光、显影、测量等过程。运用的材料是掩膜版、光刻胶、粘结
造 剂、显影液、溶剂、去离子水、抗反射材料。掩模版、光刻胶与抗反
射材料是关键材料。曝光机与测量是关键设备。
光刻胶在芯片制造中的重要作用
光刻胶
切片图形
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