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2009.09.11 無塵室介紹及規範 南台科技大學 光電工程系 許進明 顯示器實務 * 第一页，共二十三页。 無塵室之定義與應用： 1. 無塵室之簡介 利用不發塵建材、阻塵設施、空調設備與空間設計，將室內空間作溫度、濕度、氣體流、氣壓及微塵粒子之控制，而達到特殊應用需求之作業或研究場所，稱之為無塵室或清淨室(Clean Room) 無塵室除了在IC半導體、光電與TFT-LCD等高科技產業應用之外，生醫科技、食品加工業、精緻農業與航太產業也需利用清淨室場所以達到品管之要求，唯所需之無塵室等級不同。 基因實驗室 食品加工業 醫療衛生 生物科技 精緻農業 國家太空中心 友達TFT-LCD廠 * 第二页，共二十三页。 無塵室之規格 1. 無塵室之簡介 潔淨室依等級之不同，對一定空間內的微塵粒子最大容許量有一共通規範，在國際標準中最常用的規範有Fed-Std-209E及ISO-14644，以Fed-Std-209E的等級規範定義為例： * 第三页，共二十三页。 無塵室之規格 1. 無塵室之簡介 NDL/class 10 CIS/class 100 繼開科技/class 10000 * 第四页，共二十三页。 無塵室之種類 1. 無塵室之簡介 無塵室依等級的不同而在氣流設計上會有所區別，一般可分為垂直層流方式(Class 1~100)、水平層流方式(Class 1~1,000)、亂流方式(Class 1,000~100,000)，其詳細區分如下表： * 第五页，共二十三页。 無塵室之種類 1. 無塵室之簡介 Air flow system Item Down flow Cross flow Mixed flow Conventional flow Tunnel clean Air flow system ????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????????????????????????????????? Construction cost High Middle Middle Low Middle Running cost High Middle Middle Low Low Flexibility Easy Difficult Middle Easy Difficult 　 垂直層流方式 水平層流方式 非層流方式 遂道方式 清淨度 1~100 100 1,000~100,000 1~100 生產時清淨度 作業者的影響少 上流的發塵對下 流有影響 作業者的影響大 作業者的影響最少 設備費 高 中 低 中 運轉費 高 中 低 中 生產配置變更 容易 困難 容易 困難 增設 困難 困難 比較容易 比較容易 * 第六页，共二十三页。 無塵室之種類 1. 無塵室之簡介 Conventional (hard wall) Soft wall Module type * 第七页，共二十三页。 無塵室在IC與TFT-LCD產業之必要性 1. 無塵室之簡介 粉塵掉落至IC之線路中會造成IC元件之短路或斷路 粉塵掉落很容易使單片之LCD面板良率大幅降低 * 第八页，共二十三页。 無塵室設計考量 2. 無塵室設計考量 粉塵之阻止 溫度與溼度控制 人員動線 儀器設備位置與移機動線 噪音防止 靜電與電磁防止 震動問題 安全設施 * 第九页，共二十三页。 無塵室空間規畫－－府視圖 2. 無塵室設計考量 1. 人員動線 2. 儀器設備位置與移機動線 微修區 黃光工程區 薄膜工程區 乾蝕刻製程區 機台移入/出平區 參觀走道／緊急出口走道 機具設備拆解／組合／清拭區 廠務區 檢測機台 濕蝕刻區 基板清洗區 基板儲存區 基板儲存區 中央廢氣廢液處理區 零組件／耗材處理及儲存區 基板儲存區 * 第十页，共二十三页。 2. 無塵室設計考量 無塵室空間規畫－－側視圖 廠務區 中央廢氣廢液處理區 空調管路 水氣電管路 抽器管路 末端管路 製程機台 照明與送風口 維修/緊急出口走道 * 第十一页，共二十三页。 2. 無塵室設計考量 3. 粉塵之阻止 (1) 粉塵來源之防止 Filter Module 無塵室空氣中之微塵粒子主要藉由空調管路中之濾網去除，且為防止周圍環境之粉塵進入，無塵室需保持正壓狀態。 HEPA 之結構 *