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第四章 电容传感器;;4.1 电容式传感器的工作原理和结构;对电容有影响的参数—— 有效面积S、
间距d，
相对介电常数εr
当被测参数变化使得式（4- 1）中的S、d或ε （εr）发变化时, 电容量C也随之变化。
如果保持其中两个参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。因此, 电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。;一、变面积（S）型;1. 角位移式;;;2. 直线位移型;;;二、 变介质介电常数（ε）型;1. 电容测液??;;2. 电容测厚;;三、变极板距离(d )型; 若电容器极板间距离由初始值d0缩小Δx, 电容量增大ΔC, 则有; 在d0较小时, 对于同样的Δd变化所引起的ΔC可以增大, 从而使传感器灵敏度提高。
但d0过小, 容易引起电容器击穿或短路,同时对制造和使用要求也提高。;一般变极板间距离电容式传感器：
起始电容在 20～100pF之间
极板间距离在25～200μm的范围内
最大位移应小于间距的1/10,
这类传感器在微位移测量中应用最广。
;单电容传感器的特点;四、差动电容传感器;1. 变间距d;;;;;2. 变有效面积S;第二节 测量电路;一、测量电桥;（2）工作状态: C=C-ΔC;（3）工作状态: C=C+ΔC;2. 差动桥;（2）工作状态: C1=C+ΔC,C2=C-ΔC;（3）工作状态: C1=C-ΔC,C2=C+ΔC;3， 紧耦合桥;二、差动脉冲调制电路;;三、电容调频电路;四、运算放大器测量电路
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