半导体物理-侯艳芳 课件8.3.ppt

* * 半导体物 理 Semiconductor Physics 重点 1、表面电场效应与电容-电压特性： 2、阈值电压 3、平带电压 第八章 半导体表面与MIS结构Semiconductor surface and metal-insulator- semiconductor structure §8.3 Si-SiO2系统的性质Characteristics of Si-SiO2 System 1、可动离子 特点：半径较小，带正电，具有热激 活的特点。 如：Na+、K+、H+ Characteristics of Si-SiO2 System 2、固定电荷 位于距Si-SiO2界面约30埃以内，主要是Si-SiO2界面附近的过剩Si+。 3、界面态 存在于Si-SiO2界面离Si表面3-5埃内。 分为施主界面态和受主界面态。 4、陷阱电荷 特点：通常不带电。 Characteristics of Si-SiO2 System