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- 2022-05-10 发布于四川
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- | 2022-03-09 颁布
- | 2022-10-01 实施
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ICS77.040
CCSH21
中华人 民共和 国国家标准
/ —
GBT32280 2022
代替 / —
GBT32280 2015
硅片翘曲度和弯曲度的测试
自动非接触扫描法
—
Testmethodforwar andbowofsiliconwafers
p
Automatednon-contactscannin method
g
2022-03-09发布 2022-10-01实施
国家市场监督管理总局
发 布
国家标准化管理委员会
中 华 人 民 共 和 国
国 家 标 准
硅片翘曲度和弯曲度的测试
自动非接触扫描法
/ —
GB T 32280 2022
*
中 国标 准 出版 社 出版 发 行
北京市朝阳区和平里西街甲 号( )
2 100029
北京市西城区三里河北街 号( )
16 100045
网址:
p g
服务热线:
400-168-0010
年 月第一版
2022 3
*
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