基于MEMS扫描微镜的3D视觉技术.pdf

让 世 界 更 智 能 无锡微视传感科技有限公司 微视传感（V-Sensor）是一家MEMS微镜芯片及MEMS 3D 感知硬件供应商。公司拥有MEMS微镜芯片、驱动IC、3D成像算 法以及系统集成的全栈技术实力。微视传感已经成为国内外少数 掌握MEMS芯片核心技术的3D感知硬件供应商。 MEMS芯片：成为最专业的MEMS微镜芯片方案商 3D 感知硬件：成为国内MEMS 3D感知硬件一线品牌 产品应用： 激光雷达：短距离工业类自主导航、长距离车载辅助驾驶 3D深度相机：尺寸与缺陷检测、智能制造、安防、医美、金融等 2019年 成立西安 分公司 西北地区 ◼无锡总部 华北地区 ◼南京、西安、武汉 中国电子科技集团有限公 北京 司控股子公司，具备集成电路 三个异地分公司 设计、掩模、晶圆制造、测试、 ◼北京,上海,深圳,成都,厦门 封装、可靠性、应用支持等完 西安 南京 无锡 华东地区 五个异地研发中心 上海 2017年9月 整的产业链，主要产品包含 成都 武汉 成立南京 ◼八家控股子公司 分公司 CPU、DSP、FPGA、MCU、 西南地区 ◼两家孵化公司 MEMS、微系统等十大类 厦门 1000多种产品。曾研制了我 2019年 深圳 华南地区 成立武汉 国首块超大规模集成电路。中 分公司 华中地区 科芯正在成为“国内卓越、世 界一流”的集成电路创新型产 业集团。 设计 掩模 晶圆 测试 封装 检测 应用 Polygon scanner Galvanometric scanner Risley prism scanner • Kurt E. Petersen, “Silicon Torsional Scanning Mirror,” IBM J. Res. Develop., vol. 24, no.5, pp. 631-637, 1980. Torsional beam Mirror Comb fingers • Baran, Utku, Urey, et al. MEMS Laser Scanners: A Review[J]. Journal of Microelectromechanical Systems A Joint IEEE Asme Publication on Microstructures Microactuators Microsensors Microsyst