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EDS定量误差分析及使用技巧
应用工程师 徐宁安
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• 定量分析
• 不包含轻元素,Z10
• 样品无水分、致密、平坦、导电性良好
• 无重叠峰和干扰峰
允许相对误差
质量分数
合金 矿物
wt%20% 2% 5%
3%≤wt%≤20% 5% 10%
1%≤wt%≤3% 15% 20%
0.5%≤wt%≤1% 20% 30%
0.1%≤wt%≤0.5% 30% 50%
© Oxford Instrume
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