制绒技术分析.ppt

Rinse3 DI water流入方向 循环水流向 溢流向Rinse2，Rinse1 V/V and Sensors a.压力泵-将液体送入Rinse 槽 b. 流量计 c.滤芯 b C a c 换药时碱液流动方向 循环时液体流动方向 DI Water 流动方向 Cool water 流动方向 Drain的方向 碱槽管路图 Recipe界面 Replenish界面 4.前清洗换药规程 5. 前清洗工序工艺要求 片子表面5S控制 不容许用手摸片子的表片，要勤换手套，避免扩散后出现脏片。 称重 1.每批片子的腐蚀深度都要检测，不允许编造数据，搞混批次等。 2.要求每批测量4片。 3.放片，放在1.3.5.7道，测试减重均值。 刻蚀槽液面的注意事项： 正常情况下液面均处于绿色，如果一旦在流片过程中颜色改变，立刻通知工艺人员做适当调整。 产线上没有充足的片源时，工艺要求: 1.停机30分钟以上，要将刻蚀槽的药液排到tank，减少药液的挥发。 2.停机15分钟以上要用水枪冲洗碱槽喷淋及风刀，以防酸碱形成的结晶盐堵塞喷淋口及风刀。 3.停机30分钟以上，要跑假片，至少一批（400片）且要在生产前15分钟用水枪冲洗风刀处的滚轮，杜绝制绒后的片子有滚轮印。 前清洗到扩散的产品时间: 最长不能超过2小时,时间过长硅片会污染氧化，到扩散污染炉管,从 而影响后面的电性能及效率 一、制绒基础知识讲解（30分钟）（准备好问题） 二、现场提问（4*5=20分钟） 三 、中场休息15分钟（制绒工艺员讲师准备） 四、工艺员讲师经验分享（10*3=30分钟） 1、针对以上所提问题本人见解 2、详细列举异常实例及处理方式 3、复机如何调试 4、换液如何调试 5、如何调试优化配方 6、配液配方稳定性影响因素见解 7、如何做到异常记录的及时性及完整性，有什么重要意义。 友情提示：可以选择以上的1条或几条也可有其它相关经验分享（要求：经验分享需有突出点，简明、易懂、详尽）。 五、汇总说明（25分钟） Thanks for your attention! Confidential 制绒工艺介绍分析 一、制绒基础知识讲解（30分钟）（准备好问题） 二、现场提问（4*5=20分钟） 三 、中场休息15分钟（制绒工艺员讲师准备） 四、工艺员讲师经验分享（10*3=30分钟） 1、针对以上所提问题本人见解 2、详细列举异常实例及处理方式 3、复机如何调试 4、换液如何调试 5、如何调试优化配方 6、配液配方稳定性影响因素见解 7、如何做到异常记录的及时性及完整性，有什么重要意义。 友情提示：可以选择以上的1条或几条也可有其它相关经验分享（要求：经验分享需有突出点，简明、易懂、详尽）。 五、汇总说明（25分钟） 太阳电池是利用光生伏特效应，把光能直接转换成电能的一种器件。 它的工作原理可以概括成下面几个主要过程：第一，必须有光的照射，可以是单色光，太阳光或我们测试用的模拟太阳光源。第二，光子注入到半导体后，激发出电子—空穴对。这些电子空穴对必须有足够的寿命保证不会在分离前被附和。第三，必须有个静电场（PN结），起分离电子空穴的作用。第四，被分离的电子空穴，经电极收集输出到电池体外，形成电流。 1.太阳能电池的原理 前清洗（制绒） 扩散 PECVD SiNx 后清洗（刻边/去PSG） 丝网印刷 /烧结/测试 2.制造太阳能电池的基本工艺流程 二、前清洗（制绒） 制绒按工艺不同可分为碱制绒和酸制绒： 利用碱溶液对单晶硅不同晶面有不同的腐蚀速率（各向异性腐蚀），对（100）面腐蚀快，对（111）面腐蚀慢。如果将(100)作为电池的表面，经过腐蚀、在表面会出现以 (111)面形成的锥体密布表面（金字塔状），称为表面织构化。 但是对于多晶硅，由于晶体排列方式杂乱，如果利用碱液，无法进行腐蚀得到良好的金字塔织构化表面，此时只能用酸溶液进行各向同性腐蚀，获得表面存在许多凹坑的表面结构，也能起到良好的陷光作用。 1.制绒工艺的分类： 单晶硅片碱制绒绒面形状 多晶硅片酸制绒绒面形状 2. 陷光原理： 光在光滑半导体薄片表面上的 反射、折射和透射 陷光原理图 当入射光入射到一定角度的斜面，光会反射到另一角度的斜面形成二次吸收或者多次吸收，从而增加吸收率。 腐蚀深度在4.4± 0.4μm 时，制绒后的硅片表面反射率要一般在20%~25%之间，此时得到的电性能较好。 腐蚀深度与电性能间的关系 在绒面硅片上制成PN结太阳电池，它有以下特点: (l)绒面电池比光面电池的反射损失小，如果再加减反射膜，其反射率可进一步降低。 (2)入射光在光锥表面多次折射，改变