石墨舟矫正夹具改造.pdfVIP

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目的:为降低公司成本、质量及良率,故提出校准石墨舟夹具改善。 投返工片 目前本公司使用夹具为 下定位尺加侧直角判定 石墨舟各石墨板间距及 侧板垂直度,较为单一, 造成 无法全面矫正石墨舟上 造成石墨舟掉片严重 下左右各石墨板间的距 离及垂直度。 在校准工具无法更精确的校准石墨舟,造成掉片现象产生碎片,提高碎片率。而从掉片现象衍生其他异常点, 比如手臂取片过程造成缺角及亮缺崩边片。 (现场了解新上线舟均有掉片现象) 改造后的石墨 舟夹具效果图 改造后的石墨舟校准夹具有上下同时校准的功能,会对石墨舟上下进行贴合式校准,避 免之前只能校准下面的缺陷。校准的误差及人员校准时间将会大大减小。 据了解,同行业其他公司,对石墨舟校准夹具的规范使用,大大减少了应掉片产生的碎 片率。 对比 本公司校准夹具 其他公司校准夹具 由上所述,建议进行石墨舟矫正夹具的更换改造。改造后PECVD碎片率由0.18%-0.2% 降低到0.13%-0.15%

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