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目的:为降低公司成本、质量及良率,故提出校准石墨舟夹具改善。
投返工片
目前本公司使用夹具为
下定位尺加侧直角判定
石墨舟各石墨板间距及
侧板垂直度,较为单一, 造成
无法全面矫正石墨舟上 造成石墨舟掉片严重
下左右各石墨板间的距
离及垂直度。
在校准工具无法更精确的校准石墨舟,造成掉片现象产生碎片,提高碎片率。而从掉片现象衍生其他异常点,
比如手臂取片过程造成缺角及亮缺崩边片。 (现场了解新上线舟均有掉片现象)
改造后的石墨
舟夹具效果图
改造后的石墨舟校准夹具有上下同时校准的功能,会对石墨舟上下进行贴合式校准,避
免之前只能校准下面的缺陷。校准的误差及人员校准时间将会大大减小。
据了解,同行业其他公司,对石墨舟校准夹具的规范使用,大大减少了应掉片产生的碎
片率。
对比
本公司校准夹具 其他公司校准夹具
由上所述,建议进行石墨舟矫正夹具的更换改造。改造后PECVD碎片率由0.18%-0.2%
降低到0.13%-0.15%
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