F2烧结炉原理及操作.docx

员工培训上岗考试-烧结炉原理及操作 日期： 姓名： 工号： 成绩： 填空题 1、烧结中排风对功率的( 输出比 )和的灯管的（ 稳定性 ）有影响。 2、风帘分布在烧结炉的（一区入口处上下风帘 ）和（ 九区出口上风帘 ）的位置。 3、烧结炉4-7区的平台温度至少应该保持在（ 500 ）℃以上。 4、硅片表面氮化硅薄膜偏厚时，我们对烧结炉的工艺可以调节（ 加高温度 ） （降低带速）。 5、九区有机排会影响该温区（ 底部 ）的功率。 二、描述题（回答问题时只有列出关键概念、关键步骤或公式才能得满分，回答问题易简短，描述清晰 ) 1、烧结中过度段的作用有哪些？； （1）有机气体的充分挥发 （2） 2、烧结炉调整的最本的原则是看电性参数中的RS 、RSh、及FF,请简述烧结对以上电参的影响以及改善措施。 （1）过烧： RS增大、 RSh减小、IRev2变大 （2）欠烧: RS增大、 RSh无影响 3、烧结主要的匹配哪些因素？之间的关系是什么？ （1）浆料 （2）方阻 方阻越高，薄膜层低9区温度更低 方阻和结深成反比 4、请简述公司一部两代TPS烧结炉的区别？ （1）主要是11#的烧结炉，相对1-10#的烧结炉来讲，它的腔体更宽、气密性更好。 （2）在过渡区新增加了一个透视窗，使烧结中的电池片不至于直接暴于车间环境中。 （3）在11#的九区烧结出口多加了一个风冷箱，使烧结过后电池表面的温度小于40℃。 （4）烧结炉11#在8区的上部、9区的上下部各新增了一块反光板。 （5）11#烧结炉在腔体新增了一个降温保护装置（PLC程序），在炉体温度未完全降低的情况下是无法打开的。