PE镀膜的错误类型、原因及解决措施.pdf

PECVD错误类型、原因及处理措施 报警类型 原因 处理措施 报警信息 舟内碎片将舟内碎片取出，通知工艺确认是否补镀 电流过大 HFGen Begin(20337) - Out of 2nd tolerance； 高频报警 管内碎片 通知设备清理炉管内碎片 HFGen End(20337) - Out of 2nd tolerance 高频发射器温度过高 通知设备将高频发射器重启 桨有轻微变形 待桨冷却恢复 Position - EFM error 1020: Boat is misplaced on the Paddle. Problem must 卡桨 滑轮处有异物阻碍 通知设备清理 be cleared and acknowledged manually! 小车方向放反 调整小车的方向 上下料卡舟 Boat collision 小车两端位置偏差 通知设备对小车进行校准 漏率过大 通知设备更换限压阀 leak，pressure rise too high 炉口处有碎片 通知设备清理炉口碎片 真空报警 炉管破裂 设备更换炉管 process abort,vacuum failure 真空泵异常 通知设备维修 有声 急停报警 将急停按钮拍下 将急停键拔起 Warning Handing stop 报警 温度报警 温度超过控制范围 通知设备检查冷却水和热电偶的情况 T_Paddle Center -Out of 1st tolerance 下料 提醒有舟待下料 将小车拉出 The trolley is in the collision area of the lift. Please remove trolley 气体供应不足 通知系保确认气体供应情况 Gas NH3 /SiH4 Acknowledge(30324) - Out of 1st tolerance 压力报警 蝶阀灵敏度不够 通知设备维修或更换蝶阀 —— 机械臂所在位置异 机械臂报警 通知设备对机械臂或舟进行维修 Grab sensor undefined, no movement possible! Check boat position! 常或与舟位置不匹 舟失去位 Handler disables lift movement. han