真空溅射镀膜技术.pptx

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会计学;真空镀膜分为(蒸发镀膜 ) 、(离子镀膜 )、(溅射镀膜 )和(化学气相沉积 )四种形式,按功能要求可分为(装饰性镀膜)和(功能性镀膜)。 溅射是指荷能粒子轰击(固体表面),使(固体原子或分子)从表面 射出的现象。利用溅射现象沉积薄膜的技术叫(溅射镀膜)。 ;;真空表面沉积技术起始于真空蒸发镀膜,其基本过程是: ? 在真空容器中将蒸镀材料(金属或非金属)加热,当达到适当温度后,便有大量的原子和分子离开蒸镀材料的表面进入气相。 ? 因为容器内气压足够低,这些原子或分子几乎不经碰撞地在空间内飞散, ? 当到达表面温度相对低的被镀工件表面时,便凝结而形成薄膜。;;蒸发成膜过程是由蒸发、蒸发材料粒子的迁移和沉积三个过程所组成。;溅射镀膜的原理及特点;直流二极型离子镀膜;三种物理气相沉积技术与电镀的比较

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