黄光流程了解及各站点的出现的异常描述.ppt

黄光流程了解及各站点的出现的异常描述;ITO流程（Front Back）;SITO的流程;光阻塗佈;; 2.显影不良: 显影不净/过显/刮伤/脏污/药液残留/光阻脱落/显影圈/凹点~ ~; 2.涂布气泡(部分因脏污/光阻粘度/涂布机台异常等~所导致,目视为白色亮点); 3.涂布脏污(部分因来料脏污/未清洗干净/机台脏污等~所导致);显影异常图片;3. AL线上光阻残留(固定光阻残留主要因光罩上粘有脏污等其他物质所导致);;5. 显影圈(部分因显影速度及电导率等~所导致,出现在显影后,目视为小白点/较小且密集);7. 凹点(大部分是因脏污或其它物质导致光阻无法被显影干净,一般出现在PC405制程,目视为亮点);ITO蚀刻异常图片;AL蚀刻异常图片;其他不良图片;3.静电击伤(最常出现在涂布/曝光/软硬烤段,目视为白色点状,强光下可见);6.Organic脱落(玻璃表面保护层如PC405/TS821等脱落);8.ITO线上光阻残留(固定光阻残留主要因光罩上粘有脏污等其他物质所导致);9.脏污 ;11.AL氧化(部分因存放环境~目视泛白且半透光);整理课件;整理课件;Thanks;此课件下载可自行编辑修改，供参考！ 感谢您的支持，我们努力做得更好！