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黄 光 制 程;总流程图;黄光制程：通过对涂覆在玻璃表面的光敏性物质(又称为光刻胶或光阻)，经曝光、显影后留下的部分对底层起保护作用，然后进行蚀刻脱膜并最终获得永久性图形的过程。
;制程流程; 素玻璃经过清洗、烘烤后进入真空室进行溅镀ITO/MAM。;Clean;Clean;;Clean;Clean;IR/UV/CP;CT;CT;Pre-bake;EXPO;EXPO;DEV;DEV;Post-bake;ADI;CDC;SR;Etch;Etch;Strip;AEI;谢谢;此课件下载可自行编辑修改，供参考！
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