PMN-PT铁电薄膜的应用前景.docx

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2022-06-30 发布于湖北
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PMN-PT铁电薄膜的应用前景.docx

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1 引言微机电系统(MEMS)器件是各种功能器件集合于一体的微型器件，随着微纳米工艺技术的不断发展，无线传感网络节点、可穿戴便携式微型电子设备的广泛应用，对微型化供能技术提出了新的挑战。结合MEMS系统中传感和驱动两部分模块，压电材料更适宜于MEMS领域，为实现不同功能，需选用不同的功能材料，随着压电材料在MEMS领域的不断探索，目前主要应用领域有微型系统，铁电存储器和高频电子器件。在目前的能量收集技术研究中，压电式能量收集技术受到了广泛的关注和研究，锆钛酸铅(PZT)材料以其优越的介电、铁电、压电性能，被广泛应用于压电式能量收集器的制备。锆钛酸铅压电陶瓷属钙钛矿结构，PZT可以实现机械能(