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压电传感器的工作原理.docxVIP

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压电传感器的工作原理 压电式传感器由压电传感元件和测量转换电路组成。压 电传感元件是一种力敏感元件,但凡能够变换为力的物理量, 如应力、压力、振动、加速度等,均可开展测量,由于压电 效应的可逆性,压电元件又常用作超声波的发射与接收装置。 压电式传感器是一种典型的自发电型传感器,以电介质 的压电效应为根底,外力作用下在电介质外表产生电荷,从 而实现非电量测量。 某些电介质在沿一定方向上受到力的作用而变形时,内 部会产生极化,同时在其外表有电荷产生,当外力去掉后, 外表电荷消失,这种现象称为压电正向效应。 反之,在电介质的极化方向施加交变电场,它会产生机 械变形。当去掉外加电场,电介质变形随之消失。这种现象 称为压电逆向效应(电致伸缩效应)。 1、压电效应机理分析 具有压电效应的物质很多,如天然的石英晶体、人造的 压电陶瓷等,现以石英晶体为例,说明压电效应机理。如图 1所示为石英晶体切片,石英的晶体构造为六方晶体系,化 学式为Si02o坐标轴定义如下: X轴:两平行柱面内夹角等分线,垂直此轴压电效应最 强。称为电轴。 Y轴:垂直于平行柱面,在电场作用下变形最大,称为机械轴。 Z轴:无压电效应,中心轴,也称光轴。 图1石英 晶体切片图 硅离子有4个正电荷,氧离子有2个负电荷,一个硅离 子和两个氧离子交替排列。 2、构造特性 (1)沿Y轴方向作用拉力与沿X轴方向作用压力,晶 胞构造变形一样,因而产生的电荷极性一样,同样道理,沿 X轴方向作用拉力与沿Y轴方向作用压力而产生的电荷极性 一样。 (2)在晶体的线性弹性范围内,当沿X轴方向作用压 力FX时,在与X轴垂直的平面上产生的电荷量为Q = dllFX (3)如果沿Y轴方向作用压力Fy时,电荷仍出现在与 X轴相垂直的平面上,其电荷量为Q = dl2 1/ 8 Fy =-dll 1/5 Fy 1为石英晶片的长度;3为晶片的厚度,dl2为沿Y轴 方向施力的压电常数,由于石英晶体的轴对称,所以dl2 = -dllo负号表示所产生的电荷极性相反。

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