特种气体系统工程设计要求规范方案.docx

特种气体系统工程技术规程 1总则 1.0.1 为正确执行电子厂特种气体系统工程设计和施工中的国家法律法规，确保安全可靠，保护环境，满足电子产品生产要求，保障人身和财产安全，做到安全、适用、技术先进、经济合理。制定本条例。 1.0.2 本规程适用于新建、扩建、改建电子厂房的特种气体输送系统工程的设计与施工。 1.0.3 本规定不适用于特殊气体的制备、净化和充装系统的设计和施工。 1.0.4 特种气体系统的设计和施工应符合本规程的规定和现行国家有关标准的规定。 2项 2.0.1 特种气体 用于生产各种电子产品的薄膜气体、掺杂气体、外延气体、离子注入气体、蚀刻气体及工艺设备。通常包括可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、有毒气体、惰性气体等。 2.0.2 特种气体系统 特种气体系统是指特种气体在用户现场储存、输送和分配全过程的设备、管道和部件的总称。 2.0.3 特种气体室 是指电子生产车间中放置特种气瓶柜、气瓶架、废气处理装置、气瓶容器等气体设备的房间，特种气体通过管道输送到气体设备的房间。 2.0.4 硅烷站 是指放置硅烷储存设备（气瓶、气瓶容器、Y钢瓶、长管拖车或ISO标准储罐）、硅烷气化装置、废气处理装置、电气装置等，并将气体生产工厂通过管道提供硅烷气体的独立结构或区域。 2.0.5 明火现场 有外露火焰或炽热表面的室外固定位置。 2.0.6 火花现场 户外电焊、砂轮、气焊等会发出火花或固定位置的烟囱。 2.0.7 空缸 剩余压力的气瓶。 2.0.8全缸 有气压的气瓶存放在气瓶中。特种气瓶总则有40L、47、48L等各种容积的水。 2.0.9 气瓶捆 它是一种用特殊金属框架固定，并用集气管将多个气瓶接口并联连接的气瓶组单元。气瓶数量分别为9个、12个和16个，单个气瓶的水量通常为40~50L。 2.0.10 气柜（GC） 用于特殊气体的密闭气瓶安置和管理设备总则应配备减压装置、真空发生器、紧急切断阀、过流开关、风压事故报警器、压力监测报警等必要设施，以保证安全使用。 .排气管配有泄漏探头。气瓶柜分为手动、半自动和全自动三种。 2.0.11气架（GR） 用于特殊气体的开放式气瓶放置和管理设备总则应配备减压装置、吹扫装置、气端过滤器、紧急切断阀、压力监测和报警等安全设施。气缸架分为手动、半自动和全自动三种。 2.0.12 阀组箱（VMB） 用于特殊气体输送的封闭式管道分配元件。 VMB 在进气口配有气动阀和手动阀。每根支管均可配备手动阀、压力表、过滤器等部件，但SiH2Cl2、WF6等低蒸气压气体除外。 ，VMB各支路可根据需要设置调压阀。 VMB需要设置漏气排气管接口和风压事故报警。 2.0.13 阀组面板 (VMP) 特殊气体输送过程中使用的开放式管道分配部件。 VMP 在进气口配有气动阀和手动阀。每根支管应配备手动阀、压力表、过滤器等部件。 VMP的每个支管可根据需要配备调压阀。 . 2.0.14 低蒸气压气体 常温饱和蒸气压小于0.2MPa的气体。 2.0.15 废气处理装置局部洗涤器 是一种用于处理易燃、易爆、有毒、腐蚀性等气体的废气和吹扫气体的装置。处理后的废气达到规定的排放浓度，排入用气车间的排气管。 2.0.16 气体检测系统（GDS） 安装在特殊气瓶柜、气瓶架、阀箱、阀盘等特殊气体输送设备和管道所覆盖的区域，通过检测基本气体或相关气体的含量来判断基本气体的泄漏在空中，从而发出声光报警信号，系统提供应急处理数据。 2.0.17 气体管理系统（GMS） 气体管理和控制系统的总称，包括特种气体检测系统、应急处理系统、工作管理系统、监控系统、数据传输和处理系统。 2.0.18 最大内容浓度阈值(TLV) 工作环境空气中有害物质的最高内容浓度。 2.0.19 爆炸下限（LEL） 空气或氧化性气体爆炸中可燃气体浓度的下限。 2.0.20 水平圆柱y-圆柱/t-圆柱 用于储存更多特种气体的钢瓶。总则水量为500L和1000L。 2.0.21 发火气体 在空气中自发燃烧的气体。 2.0.22 可燃气体 指能与空气（或氧气）形成一定浓度的混合气体，遇火源会燃烧或爆炸的气体。 2.0.23 有毒气体 LC50 超过 200 ppm 但不超过 2000 ppm 的气体。 2.0.24 腐蚀性气体 它是指在一定条件下，对材料或人体组织产生化学反应，造成可见损伤或不可逆反应的气体。 2.0.25 充氧 它是指一种气体，在一定条件下，会产生相对剧烈的化学反应，在与材料接触时会失去电子。 2.0.26 惰性气体 在正常情况下不与其他物质发生化学反应的气体。 2.0.27 节流孔（RFO） 限制系统最大流量的设备。 2.0.28 过量流量开关（EFS） 当流量超过设定值时，发出开关信号。 2.0.29 AP管退火酸洗管 经