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《MEMS 技术基础》课程教学大纲 一、 课程简介 课程中文名 MEMS 技术基础 课程英文名 MEMS technologies 课程代码 083M23A 课程学分 3 总学时数 51 □通识课程 □线上 □学科基础课 □必修 □线下 课程类别 专业课 课程性质 选修 课程形态 线上线下混 □实验实践课 □其他 合 □其他 □其他 □闭卷 开卷 □一页开卷 □面试 □口试 □答辩 考核方式 □论文 □报告 □大型作业 □课程作品 □其他 开课基层教 开课学院 物理科学与技术学院 微电子系 学组织 面向专业 微电子科学与工程等 开课学期 1.1 学期 课程负责人 审核人 先修课程 半导体物理及工艺 后续课程 微纳机械电子器件集成工艺等 课程网址 /course/UESTC-1449238161 微机电系统 （MEMS）是二十世纪九十年代发展起来的一门多 种学科交叉而成的新兴学科。微机电系统技术基础是机械电子工 程专业的一门专业选修课程，它的主要任务是使学生获得微机电 系统技术的基本知识，并能用微机电系统的基本概念和基本方法 课程简介 来分析和研究工程实际中的问题，为进一步学习和研究微机电系 统新理论和新产品奠定基础。 （英文） 二、 课程目标 通过学习，了解微机电系统的基本设计原则及技巧，掌握微机电器件典型的 加工工艺，并且结合工程需求，积极参与各种微机电器件及系统的设计。此外， 通过课程学习，同时培养学生核心价值观，树立科学的世界观、积极向上的人生 观，以及爱岗敬业的事业观，立志成为有理想信念和人文情怀的科技人才。通过 教学活动，达到以下课程目标： 表 1 课程目标 序号 具体课程目标 课程目标 1 建立核心价值观，坚定勤奋学习、求真学问、科技报国的理想信念。具备初步 的科学思维能力与科学伦理，热爱科学探索，立志成为有理想信念和人文情怀 的科技人才。 课程目标 2 系统掌握微机电系统的整体流程，基本工作原理，器件的制备方式，能够熟练 运用半导体硅基工艺知识，分析及设计合理的微纳机械器件。 课程目标 3 掌握 MEMS 课程涵盖的传感器知识，包括压力、加速度传感器工作原理，制 备方式、工艺流程，及实际应用到生活中其本质原因，使得对本课程认识的整 体素质达到提升