一种用于六氟化硫检测的温度补偿式MEMS红外热电堆气体传感器.pdfVIP

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2022-11-19 发布于四川
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一种用于六氟化硫检测的温度补偿式MEMS红外热电堆气体传感器.pdf

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本实用新型公开了一种用于六氟化硫检测的温度补偿式MEMS红外热电堆气体传感器，包括底座、引脚、管帽以及滤光片，底座与管帽之间形成容置腔，容置腔的内部设置有用于采集外部红外辐射信号的红外热电堆模块、用于补偿红外热电堆模块红外辐射信号的温度补偿模块、热敏电阻以及与用于处理红外热电堆模块和温度补偿模块输出信号的信号处理器。本实用新型中，通过红外热电堆模块采集外部红外辐射信号，温度补偿模块对红外热电堆模块采集到的红外辐射信号的温度进行补偿输出，防止六氟化硫的红外辐射信号通过滤光片直接接触红外热电堆模块而

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 217819985 U (45)授权公告日 2022.11.15 (21)申请号 202221798618.3 G01J 5/02 (2022.01)