数字超大规模集成电路设计 (69).pdf

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2022-12-18 发布于陕西
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6.4 互连线的scaling down 1 互连线密度的提升可以加工的最小的互连线节距（pitch）也与工艺的特征尺寸有关。 Pitch=宽度+ 间隔 2 互连参数与尺度的关系 3 互连线的理想尺寸缩小 • 导线宽度和厚度、介质层厚度按同一比例（S 1 ）缩小参数关系式变化 W,H,t / 1/S 单位长度电阻R 1/WH S2 延时增大单位长度底板电容 W/t 1 C 单位长度侧壁电容 H/t 1 C C 4 Scaling down 中的互连线长度互连的分类局部互连 Pentium Pro (R) Pentium(R) II Pentium (MMX) Pentium (R) Pentium (R) II 网 ) s 路 e t l e a S = S n c 数 Global Die f S o g S = S o o Local Technology 量全局互连 N L ( l e t n