氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线的测试方法.pdfVIP

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2022-12-27 发布于上海
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氧化镓单晶片X射线双晶摇摆曲线的测试方法.pdf

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氧化镓单晶衬底片摇摆曲线的测试方法 1 范围本标准规定了利用单晶X 射线衍射仪测试氧化镓单晶衬底片摇摆曲线及其半高宽的方法。本标准适用于熔体法及其他方法生长的和定向切割晶锭制备的氧化镓单晶衬底片，对前述衬底片进行化学或机械抛光后的样品同样适用于此方法。 2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 14264-2009 半导体材料术语 3 术语和定义 G