碳化硅单晶抛光片位错密度检测方法.pdfVIP

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2022-12-27 发布于上海
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碳化硅单晶抛光片位错密度检测方法.pdf

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碳化硅单晶抛光片位错密度检测方法 1 范围本文件适用于检测面法线方向与C轴方向夹角范围为0°~8°的碳化硅单晶抛光片的位错密度的检测。 2 规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 14264 半导体材料术语 GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片 3 术语和定义 GB/T 14264和GB/T 30656-201