一种适用于电子束设备的液氮冷量利用装置.pdfVIP

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2023-01-30 发布于四川
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一种适用于电子束设备的液氮冷量利用装置.pdf

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一种适用于电子束设备的液氮冷量利用装置，包括用于装载液氮的液氮罐、第一汽化管路、第二汽化管路、输出管路和用于装载冷却水的水箱，所述液氮罐、第一汽化管路和输出管路顺次相连，所述液氮罐、第二汽化管路和输出管路顺次相连，所述第一汽化管路设置有第一电磁阀和第一汽化器，所述第二汽化管路设置有第二电磁阀和液氮换热器，所述液氮换热器设置在水箱中。本实用新型利用液氮汽化过程对冷却水进行冷却，有效降低了电能消耗。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212299590 U (45)授权公告日 2021.01.05 (21)申请号 202021010826.3 (22)申请日 2020.06.04 (73)专利权人中山易必固新材料科技有限公司