一种湿法分片装置.pdfVIP

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2023-02-03 发布于四川
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一种湿法分片装置.pdf

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本实用新型提供一种湿法分片装置，包括晶圆分片分离机构、取片机构和传送机构，其中，晶圆分片分离机构用于对晶圆进行分片、分离；晶圆分片分离机构与传送机构通过取片机构连通，将分离后的晶圆运输至传送机构处，并在传送机构的作用下运输至下一工序处。本实用新型的有益效果是具有晶圆分片分离机构，能够对叠放在一起的晶圆进行分片、分离，具有取片机构，能够将分离后的晶圆放置于传送机构，并将晶圆传送至下一工序，自动化程度高，降低劳动强度，将叠在一起的晶圆片进行自动分片，可以对接各种以单片晶圆片为工作对象的工序，分片效率

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212342577 U (45)授权公告日 2021.01.12 (21)申请号 202021051757.0 (22)申请日 2020.06.10 (73)专利权人天津中环领先材料技术有限公司