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本实用新型公开了一种柔性板结构移相器,包括基座和主体;所述基座的内部为工作腔;主体设置在基座的上方;所述基座内安装有竖向的促动器组件;促动器组件电连接有线束组件,线束组件连接线束接头,线束接头上套接有线扣;所述基座的侧面设置有通孔,线扣安装在通孔上;所述促动器组件的顶部安装有柔性板组件,主体固定在柔性板组件上。本实用新型不会产生位置的偏差,大大提升了使用寿命,间接帮助企业减少损失,提高了卧式干涉仪的工作效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212364070 U
(45)授权公告日 2021.01.15
(21)申请号 202021649469.5
(22)申请日 2020.08.10
(73)专利权人 上
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