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本实用新型公开一种掩膜板搬运装置,其包括搬运主体和卡盘,搬运主体包括第一安装架、第一驱动件、第二驱动件和卡块,第一驱动件设置在第一安装架上,卡块与第一驱动件连接,第一驱动件能驱动卡块转动,第二驱动件与第一安装架连接,第二驱动件能驱动第一安装架沿第一方向移动,卡盘内设置有第一卡槽,卡盘远离掩模板的一侧面设置有与第一卡槽连通的安装口,安装口与卡块适配,第一卡槽呈椭圆形,第一卡槽的长轴方向与安装口的长度方向平行,第一卡槽具有相对设置的长轴端和相对设置短轴端,卡块抵接在短轴端和长轴端之间的槽壁上。该掩膜
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 218433697 U
(45)授权公告日 2023.02.03
(21)申请号 202222825845.7
(22)申请日 2022.10.24
(73)专利权人 乐金显示光电科技(中国)有限公
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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