工件架旋转系统以及真空镀膜设备.pdfVIP

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2023-02-08 发布于四川
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工件架旋转系统以及真空镀膜设备.pdf

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本实用新型公开一种工件架旋转系统以及真空镀膜设备，所述工件架旋转系统包括安装座、转动组件和驱动系统，所述转动组件设于所述安装座，所述转动组件包括用以固定待镀膜工件的自转盘，所述自转盘可沿着其自转轴可转动设置，且所述自转盘还可绕着一公转轴转动设置，所述驱动系统驱动连接于所述转动组件，所述驱动系统驱动所述自转盘绕着所述自转轴和/或所述公转轴转动，以使得所述自转盘具有单独绕其自转轴转动的自转行程、单独绕公转轴转动的公转行程、以及同时能够绕自转轴转动和公转轴转动的组合转动行程。本实用新型提供的技术方案能

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212388106 U (45)授权公告日 2021.01.22 (21)申请号 202021541253.7 (22)申请日 2020.07.29 (73)专利权人北航歌尔（潍坊）智能机器人有限