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本实用新型提供一种配气系统及气体传感器测试系统,包括气体流量计、气体隔膜泵、第一三通阀、二通阀及第二三通阀、进气接口、出气接口、注入口、排出接口;按照气体流向,进气接口、第一三通阀、气体隔膜泵气体流量计、测试腔、第二三通阀、出气接口依次通过管道连通;配气室的进口通过管道与注入口连通,注入口与第二三通阀连通,配气室的出口引出两路管道,其中一路通过二通阀与排出接口连通,另一路与第一三通阀连通。该配气系统综合考虑合成配气、采气袋配气、配气室注入等情况,采用多个三通阀、二通阀、管路、配气室、测试腔的协同
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212396403 U
(45)授权公告日 2021.01.26
(21)申请号 202020388634.X G01N 27/04 (2006.01)
(22)申请日 2
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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