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一种光学真空镀膜膜厚测量装置，密封体上端与电机连接，密封体下端与密封管一端连接，所述密封管穿过固定盘和冷凝室，所述电机的轴穿过所述密封体、所述密封管和承载台连接扇叶状的转盘；所述冷凝室的上端面连接固定盘，下端面连接所述承载台，所述冷凝室内壁附近设有装冷却水的夹层，夹层与所述冷凝室内壁之间设有双螺旋结构的螺旋层，所述螺旋层呈双螺旋结构从所述固定盘下表面延伸至所述承载台上方，冷却水进水管和出水管沿所述螺旋层布置，所述承载台的下表面中心设有安装了晶振片的所述晶振探头。本实用新型提供的光学真空镀膜膜厚测
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212390975 U
(45)授权公告日 2021.01.22
(21)申请号 202021044382.5
(22)申请日 2020.06.09
(73)专利权人 成都四盛科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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