一种化学品供液管路装置.pdfVIP

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2023-02-08 发布于四川
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一种化学品供液管路装置.pdf

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本实用新型公开了一种化学品供液管路装置，包括过滤前汇合管路、第一支路、第二支路、过滤后汇合管路、第三支路、第四支路、第五支路、第六支路、第七支路、第八支路、第一旁路、第二旁路、第一过滤器、第二过滤器、第一进液阀、第二进液阀、第三进液阀、第四进液阀、第一排废阀、第二排废阀、第三排废阀、第四排废阀、第五进液阀、第六进液阀、第七进液阀、第八进液阀、第九进液阀、第十进液阀、第一VMB管路和第二VMB管路；本实用新型的化学品供液管路装置能够消除CMD柜发生部件损坏时可能产生的停机隐患；增加更换维修的便利性

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212408284 U (45)授权公告日 2021.01.26 (21)申请号 202020242393.8 (22)申请日 2020.03.02 (73)专利权人上海兄弟微电子技术有限公司