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本实用新型的一种从惰性气体保护生产设备中收集尾气的系统,包括生产设备、主过滤器,该主过滤器的进口与生产设备的排气口相连通,主过滤器后连接一台真空泵;副过滤器,该副过滤器的进口与主过滤器的出口相连通,副过滤器用于对主过滤器粗滤后的气体进行粉尘精滤;尾气收集管,该尾气收集管与副过滤器的出口相连通;副过滤器还设有泄压口连通有尾气排放管,泄压口设有泄压阀。通过主过滤器和副过滤器依次对生产设备使用过的惰性气体进行粉尘过滤,过滤后的气体通过尾气收集管,在过滤收集过程中,检测主过滤器和副过滤器内的压力值,当压
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212383383 U
(45)授权公告日 2021.01.22
(21)申请号 202021478606.3
(22)申请日 2020.07.24
(73)专利权人 上海跃绅能源科技有限公司
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