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本发明公开了一种减少移动应力的机械手臂与湿法处理设备安装结构，包括设备框架、安装立板及机械手臂，所述安装立板固定安装于设备框架上，机械手臂滑动安装于安装立板上；所述设备框架由中空的金属方钢焊接形成，所述金属方钢两个相对的侧壁均贯穿设置有安装孔，所述安装孔之间设置有安装柱，所述设备框架的一端沿其轴线方向设置有螺纹孔；所述安装立板上贯穿设置有固定孔、应力分散孔、滑动轨道及齿条，所述滑动轨道、齿条沿安装立板的长度方向设置，所述固定孔与螺纹孔对应并通过安装螺栓固定。本发明的安装立板能够完整的贴合于设备框
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212445206 U
(45)授权公告日 2021.02.02
(21)申请号 202020033151.8
(22)申请日 2020.01.08
(73)专利权人 江苏启微半导体设备有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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