具有多阶应力集中区的压力传感器.pdfVIP

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2023-02-12 发布于四川
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具有多阶应力集中区的压力传感器.pdf

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本实用新型提供一种具有多阶应力集中区的压力传感器。压力传感器包括衬底、压力敏感单元、绝缘钝化层以及导线层；其中，衬底沿其厚度方向的第一表面设置有空腔，第一表面上设置有压力敏感单元；绝缘钝化层设置在压力敏感单元背离衬底的一侧，绝缘钝化层上设置有贯穿其厚度的金属化过孔，导线层设置在绝缘钝化层背离衬底的一侧，导线层通过金属化过孔与压力敏感单元电连接；并且，绝缘钝化层上还设置有多阶应力集中区，多阶应力集中区与压力敏感单元相对应，以在压力敏感单元处产生应力集中。所设置的多阶应力集中区可以在压力敏感单元处产

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212458729 U (45)授权公告日 2021.02.02 (21)申请号 202021311220.3 (22)申请日 2020.07.07 (73)专利权人南京高华科技股份有限公司