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本实用新型公开了一种气相外延炉用过滤机构，包括进风管道本体，所述进风管道本体内腔的顶部设置有过滤机构，所述过滤机构包括开设在进风管道本体内壁顶部的环形凹槽。本实用新型通过过滤机构的设置，对空气中的灰尘及杂质进行过滤，随后通过限位机构的设置，对框架进行移动，对过滤网本体进行更换，即可达到便于更换和清理滤网的目的，该气相外延炉用过滤机构，解决了现有的气相外延炉在使用过程中，进气口位置多通过螺纹紧固的安装方式对过滤层进行安装，此种安装方式需要频繁转动螺栓对滤网进行拆装，且由于炉内的吸附力，过滤网的表面
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212440483 U
(45)授权公告日 2021.02.02
(21)申请号 202021128049.2
(22)申请日 2020.06.18
(73)专利权人 上海广奕电子科技股份有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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