一种双模立体曝光装置.pdfVIP

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2023-02-12 发布于四川
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一种双模立体曝光装置.pdf

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本实用新型公开了一种双模立体曝光装置，包括：光源模块；分光机构，用于控制所述光源模块的输出光路；第一振镜，与所述光源模块的其中一输出光路对接以用于大工作范围内局部扫描曝光材料；光学模组，与所述光源模块的另一输出光路对接以用于大工作范围内大面积逐行扫描曝光材料。通过同时设置第一振镜和光学模组，并结合分光机构的光路控制功能，可针对不用成像图案的特点灵活切换，一套装置便可实现大工作范围内大面积曝光和局部曝光，并提升曝光效率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212460309 U (45)授权公告日 2021.02.02 (21)申请号 202021232859.2 (22)申请日 2020.06.29 (73)专利权人中山新诺科技股份有限公司