电镀载具.pdfVIP

下载本文档

0
0
约8.65千字
约 8页
2023-02-12 发布于四川
举报
版权申诉

电镀载具.pdf

1、本文档共8页，其中可免费阅读4页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本实用新型提供一种电镀载具。电镀载具包括阳极底板及导电线环，阳极底板上设置有容纳凹槽，容纳凹槽的周向设置有环形导电层，阳极底板上还设置有导电线，导电线与环形导电层电连接且导电线向远离容纳凹槽的方向延伸，导电线环嵌设于容纳凹槽内，且导电线环和阳极底板上的导电线焊接，导电线环和导电线的焊接点表面覆盖有密封胶，待电镀的晶圆位于容纳凹槽内，且嵌设于导电线环的内侧。本实用新型的电镀载具经改善的结构设计，可以有效避免因局部过热导致电镀载具的烧焦损坏，有助于延长电镀载具的使用寿命，降低生产成本。采用本实用新型

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212451704 U (45)授权公告日 2021.02.02 (21)申请号 202021763197.1 (22)申请日 2020.08.21 (73)专利权人中芯长电半导体（江阴）有限公司