一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台.pdfVIP

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2023-02-12 发布于四川
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一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台.pdf

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一种大行程高速高精度的XY并联解耦微定位平台，包括中心移动平台、固定机构、桥式微位移放大机构、柔性移动副与压电陶瓷；固定机构设于相邻桥式微位移放大机构之间，关于中心移动平台的正负X轴与Y轴对称；桥式微位移放大机构对称设于中心移动平台正负X轴与Y轴上，包括两第一纵梁、两第二纵梁以及多个横梁；两第一纵梁平行间距分布；两第二纵梁间距设于两第一纵梁之间且通过横梁连接第一纵梁；横梁通过柔性移动副连接各纵梁；压电陶瓷设于两第一纵梁的输入端之间；靠近中心移动平台的第二纵梁设有输出端；输出端通过柔性移动副连接中

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212461154 U (45)授权公告日 2021.02.02 (21)申请号 202021336276.4 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020