一种双抛机载具清洗设备.pdfVIP

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2023-02-13 发布于四川
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一种双抛机载具清洗设备.pdf

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本实用新型提供一种双抛机载具清洗设备，至少具有用于清洗所述载具的清洗单元、用于承载并控制所述载具移动的升降单元、用于加速清洗的超声单元和用于控制所述清洗单元和所述升降单元运行的控制单元，其中，所述升降单元被置于所述清洗单元一侧并使所述载具被置入所述清洗单元或从所述清洗单元中被移出；所述超声单元分设于所述清洗单元内侧和外侧；所述清洗单元、所述升降单元和所述超声单元均与所述控制单元连接。本实用新型提出的清洗设备，尤其是对半导体硅片双面抛光用承载装置的清洗，解决了如何自动清洗双抛机载具表面形成的SiO

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212494301 U (45)授权公告日 2021.02.09 (21)申请号 202020969129.4 B08B 3/10 (2006.01)